知道的说一下mems麦克风原理是什么？
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《来自刘清钦的回答：》
原理:像电子控制模块一样，微机电麦克风也是电容式麦克风。微机电系统麦克风由一个可在固定底板上自由移动的柔性悬挂膜组成，所有组件都制作在硅片上。该结构形成可变电容器，并且在薄膜和背板之间施加固定电荷。入射声压波穿过背板上的孔，导致薄膜移动，移动量与压缩波和稀疏波的振幅成正比。这种移动改变了薄膜和背板之间的距离，从而改变了电容。当电荷不变时，这种电容变化被转换成电信号。
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