《来自Eternally的回答：》

台阶仪用来测量薄膜的厚度。高重复性意味着当其他条件相同时，两种不同测量结果之间的差异非常小。重复性可以达到5埃，也就是说，结果之间的差异小于5埃，这很可能是事实。

我希望我的回答对你有所帮助，并希望采纳它。

《来自倒叙_7629的回答：》

该台规测量精度高，测量范围大，测量结果稳定可靠，重复性好。此外，它还可以用作其他地形测量技术的比较。

也有其不可克服的缺点：

1.探针和试件之间的接触导致的探针变形和磨损会降低仪器使用一段时间后的测量精度。

2.为了确保耐磨性和刚性，探针不能做得非常小和锋利。如果探头的曲率半径大于待测表面上的微观凹坑的半径，将不可避免地导致测量数据的偏差。

《来自请叫我雷锋的回答：》

台规属于接触面形貌测量仪。根据所用传感器的不同，接触式阶跃测量可分为三种类型：感应式、压电式和光电式。

测量原理

测量原理是，当触针沿着被测表面轻微滑动时，触针由于表面上微小的波峰和波谷而滑动。

同时，它也沿着山峰和山谷上下移动。触笔的移动反映了表面的轮廓。传感器输出的电信号通过测量电桥后，输出与触针从平衡位置的位移成比例的调幅信号。在放大和相位敏感整流之后，可以从调幅信号中解调出位移信号，以获得与触针位移成比例的放大的缓慢变化信号。然后利用噪声滤波器和波纹滤波器进一步滤除调制频率、外部干扰信号、波纹度等因素对粗糙度测量的影响。

主要物种

感应式采用感应位移传感器作为敏感元件，测量精度高，信噪比高，但电路处理复杂。压电位移传感器是压电晶体，灵敏度高，结构简单，但传感器低频响应差，容易因泄漏而引起测量误差。光电式是利用光电元件通过狭缝接收到的光通量的变化来检测位移的变化。